作者：賽文 編輯：小市妹

近期，國(guó)產(chǎn)光刻膠的話題熱度居高不下。

從“不讓西方卡脖子”到“國(guó)內(nèi)廠商取得重大突破”，從領(lǐng)漲科技股到龍頭半年翻三倍，從大佬相互嗆聲到上交所連發(fā)問(wèn)詢函……國(guó)產(chǎn)替代戰(zhàn)略下的光刻膠，從未離開(kāi)聚光燈。

時(shí)至今日，國(guó)產(chǎn)光刻膠究竟成色幾何？

【“卡脖子”】

被美國(guó)“斷芯”后的華為，困境頻現(xiàn)，從側(cè)面反映出我國(guó)在芯片制造上的明顯短板。

作為芯片產(chǎn)業(yè)鏈上的重要一環(huán)——光刻膠，特別是國(guó)產(chǎn)高端光刻膠生產(chǎn)能力的缺失，也是我國(guó)芯片自主生產(chǎn)被國(guó)外“卡脖子”的重要原因之一。

光刻膠是由樹(shù)脂、感光劑、溶劑、光引發(fā)劑等組成的混合液態(tài)感光材料。原理是利用光化學(xué)反應(yīng)，經(jīng)光刻工藝將所需要的微細(xì)圖形轉(zhuǎn)移到加工襯底上，來(lái)達(dá)到在晶圓上刻蝕出所需圖形的目的。

如果把光刻機(jī)理解為一臺(tái)膠片相機(jī)，它要使用的膠片就是光刻膠。

按照曝光波長(zhǎng)不同，光刻膠可以分為g線，i線、KrF、ArF以及EUV幾種，其中KrF、EUV和ArF光刻膠主要被應(yīng)用于集成電路，屬于高端光刻膠。由于在芯片生產(chǎn)中是不可或缺的重要原料，光刻膠也因此被稱為“半導(dǎo)體材料皇冠上的明珠”。

▲光刻膠體系

世界市場(chǎng)來(lái)看，由于將大半的技術(shù)專利都握在手中，全球的光刻膠生產(chǎn)幾乎被日本壟斷，全球排名前四的光刻膠廠商均來(lái)自日本，大約占據(jù)全球70%的光刻膠市場(chǎng)份額。而在高端光刻膠領(lǐng)域，日本廠商更是占據(jù)了KrF市場(chǎng)的80%，ArF市場(chǎng)的93%，EUV市場(chǎng)的99%的份額，統(tǒng)治力可見(jiàn)一斑。

▲全球半導(dǎo)體光刻膠市占率情況

2019年，日韓發(fā)生政治摩擦后，日本就曾利用斷供光刻膠對(duì)韓國(guó)企業(yè)進(jìn)行制裁，向韓國(guó)政府施壓，以至于三星和海力士的CEO都不得不來(lái)到日本請(qǐng)求恢復(fù)供應(yīng)。

除日本廠商外剩下的30%份額中，美國(guó)所占份額又超過(guò)了15%。中國(guó)大陸的光刻膠廠商在全球市場(chǎng)的份額僅不足一成，并且其中94%為PCB光刻膠，只能簡(jiǎn)單地用來(lái)印制電路板，是技術(shù)含量最低的一種光刻膠。

▲國(guó)產(chǎn)光刻膠生產(chǎn)分布

更麻煩的是，由于高端光刻膠的保質(zhì)期僅有6-9個(gè)月，并需要與光刻機(jī)協(xié)同工作，這樣的高技術(shù)壁壘和短周期，讓中國(guó)技術(shù)追趕難度很大。

在半導(dǎo)體用的高端光刻膠領(lǐng)域，我國(guó)尚沒(méi)有具備有國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)力的研發(fā)生產(chǎn)能力，對(duì)外依賴極其嚴(yán)重。

【艱難的突破】

為了能夠擺脫在高端光刻膠方面受制于人的窘境，我國(guó)近年來(lái)在光刻膠國(guó)產(chǎn)替代方面不可謂不努力。包括南大光電、上海新陽(yáng)、晶瑞股份等國(guó)內(nèi)光刻膠廠商接連對(duì)外宣布取得技術(shù)突破。

今年7月，南大光電就對(duì)外宣布ArF光刻膠已經(jīng)通過(guò)了50nm和55nm邏輯電路平臺(tái)的認(rèn)證，生產(chǎn)線建設(shè)已經(jīng)完成，且年產(chǎn)能能達(dá)到25噸。晶瑞股份6月稱，公司KrF光刻膠完成中試，ArF光刻膠研發(fā)即將啟動(dòng)。上海新陽(yáng)稱，其公司生產(chǎn)的KrF已經(jīng)通過(guò)了客戶認(rèn)證，并且拿到了第一筆訂單。

從缺少設(shè)備原料，無(wú)法滿足制作工藝，到在高端光刻膠領(lǐng)域取得突破，中國(guó)大陸的光刻膠生產(chǎn)企業(yè)在技術(shù)環(huán)節(jié)上取得的成績(jī)令人振奮，但是，現(xiàn)在還遠(yuǎn)遠(yuǎn)沒(méi)有到能夠慶功的時(shí)刻。

國(guó)產(chǎn)光刻膠至少在兩個(gè)問(wèn)題上，還沒(méi)給出解決辦法。

第一，國(guó)內(nèi)高端光刻膠的量產(chǎn)就是一個(gè)大問(wèn)題。量產(chǎn)不但對(duì)生產(chǎn)工藝要求更高，還需廠商有能力配合產(chǎn)品差異化需求。

南大光電通過(guò)驗(yàn)收ArF光刻膠項(xiàng)目，理論上可用于90nm-14nm甚至7nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)的集成電路制造工藝。但是通過(guò)認(rèn)證的目前卻不過(guò)是50nm的ArF光刻膠，這樣的尺寸，甚至已經(jīng)被像英特爾這樣的芯片加工企業(yè)放棄多年了。

南大光電在公告中坦言：

ArF 光刻膠的復(fù)雜性決定了其在穩(wěn)定量產(chǎn)階段仍然存在工藝上的諸多風(fēng)險(xiǎn)，不僅需要技術(shù)攻關(guān)，還需要在應(yīng)用中進(jìn)行工藝的改進(jìn)、完善。同時(shí)，ArF 光刻膠產(chǎn)品國(guó)產(chǎn)化替代受品質(zhì)、客戶的嚴(yán)格要求，后續(xù)是否能取得下游客戶的大批量訂單，能否大規(guī)模進(jìn)入市場(chǎng)仍存在較多的不確定性。這些都會(huì)影響ArF 光刻膠的量產(chǎn)規(guī)模和經(jīng)濟(jì)效益。

第二，誰(shuí)會(huì)放著成熟的光刻膠產(chǎn)品不用，選擇中國(guó)國(guó)產(chǎn)光刻膠——訂單也是一個(gè)問(wèn)題。

▲今年7月21日，JSR在川崎新設(shè)立的研究所

盡管疫情以來(lái)，光刻膠供應(yīng)持續(xù)緊張，全球晶圓廠新增產(chǎn)能多，光刻膠供不應(yīng)求，但是下游代工廠在選擇光刻膠供應(yīng)商時(shí)卻依然十分謹(jǐn)慎。

光刻膠的純度和性能都會(huì)影響到最終成品的質(zhì)量，比起與日本廠商的穩(wěn)定合作，晶圓代工廠幾乎沒(méi)有理由去采用可靠性沒(méi)有得到驗(yàn)證的國(guó)產(chǎn)光刻膠。從晶圓代工廠的角度來(lái)看，光刻膠的質(zhì)量是要放在第一位的，貿(mào)然選擇新產(chǎn)品，如果質(zhì)量不達(dá)標(biāo)而產(chǎn)生損失，對(duì)于晶圓代工廠來(lái)說(shuō)得不償失。

2019年1月，臺(tái)積電就曾因?yàn)楣饪棠z規(guī)格不符導(dǎo)致大量晶圓作廢，發(fā)生事故的工廠廠長(zhǎng)和質(zhì)檢負(fù)責(zé)人被換將，晶圓瑕疵造成的相關(guān)損失達(dá)到61億元，臺(tái)積電當(dāng)年第一季營(yíng)收因此減少約5.5億美元，毛利率減少2.6個(gè)百分點(diǎn)，營(yíng)業(yè)利益率減少3.2個(gè)百分點(diǎn)。

為了避免類似的事故，使得晶圓代工廠一旦完成對(duì)光刻膠供應(yīng)商的認(rèn)證，就會(huì)與對(duì)方形成穩(wěn)定長(zhǎng)期的合作關(guān)系。通常情況下，代工廠會(huì)提前一年依據(jù)自身需求向光刻膠廠商提供合約，為了避免換料清洗影響生產(chǎn)，工廠一整年都會(huì)使用完全相同的光刻膠原料進(jìn)行加工生產(chǎn)，避免產(chǎn)品品質(zhì)的波動(dòng)。

同時(shí)，由于產(chǎn)量規(guī)模和技術(shù)實(shí)力的巨大差距，主要的晶圓代工廠都無(wú)法逃開(kāi)日本的原料。比如，2019年，遭遇日本制裁的韓國(guó)企業(yè)曾掀起了“振興韓芯半導(dǎo)體核心原材料”運(yùn)動(dòng)，然而在專利積累和工藝水平上實(shí)在與日本廠商差距過(guò)大，無(wú)論是進(jìn)口多元化還是自主生產(chǎn)的辦法都沒(méi)有改變現(xiàn)狀。斷供事件兩年來(lái)，韓國(guó)晶圓代工廠從日本進(jìn)口的光刻膠數(shù)量不降反升，光刻膠“去日化”運(yùn)動(dòng)宣告失敗。

因此，對(duì)于起點(diǎn)更低，起跑更晚的國(guó)產(chǎn)光刻膠廠商來(lái)說(shuō)，想從光刻膠這個(gè)“配好對(duì)”的市場(chǎng)里分一杯羹，更不是件容易的事。

從這樣的情況來(lái)看，中芯國(guó)際楊曉松說(shuō)“沒(méi)一家能看的”，似乎也是行業(yè)實(shí)情。

【爆炒的概念】

技術(shù)在追趕中，量產(chǎn)說(shuō)不準(zhǔn)，訂單沒(méi)著落，處在這樣境遇中的國(guó)產(chǎn)光刻膠，卻能在市場(chǎng)上攻城略地，沖在半導(dǎo)體板塊的排頭。

▲光刻膠概念日線圖 圖源：同花順iFinD

從6月到8月，國(guó)內(nèi)幾大主要的光刻膠生產(chǎn)商先后對(duì)外宣布取得技術(shù)突破。之后我們就看到南大光電股價(jià)翻了兩倍，晶瑞股份翻三倍，上海新陽(yáng)上漲超過(guò)60%，2021年以來(lái)光刻膠板塊整體漲幅超過(guò)60%，四十余家相關(guān)企業(yè)總市值超過(guò)五千億元。

那么，國(guó)內(nèi)光刻膠市場(chǎng)實(shí)際有多大呢？

差不多只有22億美元。

而2020年國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體光刻膠銷售額合計(jì)不到2.5億元，高端光刻膠的銷售額則幾乎可以忽略不計(jì)。

▲全球光刻膠產(chǎn)業(yè)市場(chǎng)規(guī)模（億美元）

放眼全球，光刻膠的整體市場(chǎng)規(guī)模也不過(guò)百億美元左右。國(guó)內(nèi)的光刻膠廠商沒(méi)有量產(chǎn)的能力，銷售盈利能力更無(wú)從談起，券商把未來(lái)描繪得再美好，此時(shí)此刻的光刻膠概念是不是虛高，從上面的數(shù)據(jù)一看便知。

大概也正因?yàn)槿绱?，有人質(zhì)疑國(guó)產(chǎn)光刻膠，券商會(huì)第一個(gè)急。

如今，光刻膠的虛火甚至引來(lái)了上交所的注意，七月底，上海證券交易所向光刻膠板塊企業(yè)華懋科技發(fā)出問(wèn)詢函，懷疑其存在市場(chǎng)操縱、內(nèi)幕交易。上交所明確表示“請(qǐng)公司向控股股東以及本次交易的相關(guān)方核實(shí)，期間是否存在市場(chǎng)操縱、內(nèi)幕交易等違法違規(guī)行為，并提供相關(guān)內(nèi)幕信息知情人名單，本所將開(kāi)展核查?！?/p>

一封問(wèn)詢函和一張微信群截圖，就讓上周光刻膠行情急轉(zhuǎn)直下。

8月2日一開(kāi)盤(pán)，光刻膠概念股集體下跌，彤程新材、容大感光、雅克科技、南大光電、晶瑞股份等個(gè)股一度跌超5%。此后，南大光電連續(xù)五日下跌，一周累計(jì)跌幅超過(guò)15%，上海新陽(yáng)、晶瑞股份跌幅也都超過(guò)了10%。

光刻膠概念的降溫未必是壞事。國(guó)產(chǎn)替代戰(zhàn)略下半導(dǎo)體行業(yè)的蓬勃發(fā)展，難免讓人產(chǎn)生過(guò)于樂(lè)觀的預(yù)期，伴隨著狂熱的情緒和巨大的泡沫而來(lái)的，是陡增的風(fēng)險(xiǎn)。

冷靜地思考國(guó)產(chǎn)光刻膠的發(fā)展道路，踏實(shí)解決在技術(shù)、量產(chǎn)、市場(chǎng)上的問(wèn)題，才能真正地讓我國(guó)的半導(dǎo)體事業(yè)走上國(guó)際的潮頭。

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