國內(nèi)缺芯潮下，受益于晶圓廠的擴產(chǎn)及國產(chǎn)替代加速，集成電路制造用工藝化學材料的市場需求量也隨之增加。濕電子化學品供應商上海新陽半導體材料股份有限公司（下稱“上海新陽”，300236）近年來大舉布局集成電路關鍵工藝化學材料，不斷擴充產(chǎn)能以搶占未來市場。

2月14日晚間，上海新陽公告披露，公司擬與上?；瘜W工業(yè)區(qū)管理委員會、上海化學工業(yè)區(qū)發(fā)展有限公司簽訂《投資意向協(xié)議》，變更全資子公司上海芯刻微材料技術有限責任公司注冊于上?；瘜W工業(yè)區(qū)，并啟動位于上?；瘜W工業(yè)區(qū)的項目（下稱“項目”）建設。

該項目主要用于開發(fā)集成電路關鍵工藝材料。經(jīng)初步測算，項目總投資金額約為5.8億元人民幣，占地約104畝。項目資金來源為公司自有及自籌資金，上海新陽稱，帶來一定的資金壓力。

項目預計年產(chǎn)500噸I線、KrF、ArF干/濕法光刻膠；年產(chǎn)10000噸光刻膠稀釋劑；年產(chǎn)5000噸高選擇比氮化鈦刻蝕液系列產(chǎn)品；年產(chǎn)15000噸干法蝕刻清洗液系列產(chǎn)品。

據(jù)公告披露，項目擬于2023年取得施工許可證，2025年底前竣工，2026年6 月底前投產(chǎn)。

上海新陽的獨立董事對此項目給出的意見為，為了進一步鞏固在國內(nèi)半導體材料行業(yè)的領先地位，實現(xiàn)我國集成電路關鍵工藝化學材料的自主可控，公司目前需要擴大產(chǎn)能以滿足未來客戶需求。項目投產(chǎn)將使公司清洗液系列產(chǎn)品、光刻膠系列產(chǎn)品、刻蝕液系列產(chǎn)品的產(chǎn)能獲得極大提高。本項目建設符合公司長期發(fā)展的戰(zhàn)略需求。

上海新陽創(chuàng)立于1999年7月，2011年6月在深圳證券交易所創(chuàng)業(yè)板上市。公司此前在公告中提到，公司成立前10年，研發(fā)出了面向半導體封裝領域的第一代電子電鍍與電子清洗技術，為我國半導體封裝引線腳工藝加工帶來了一場根本性技術變革與提升；后10年，研發(fā)出了面向芯片制造領域的第二代電子電鍍與電子清洗技術，為我國芯片制造銅互連工藝填補了國產(chǎn)材料的空白，實現(xiàn)了國產(chǎn)替代和自主供應能力，一舉突破了國外企業(yè)在這一領域的壟斷，避免了被國外封鎖與“卡脖子”的可能。迄今為止，公司是國內(nèi)唯一能夠滿足芯片90-14nm銅制程全部技術節(jié)點對電鍍液要求的本土企業(yè)。

值得關注的是，2022年上半年，作為公司的第三大核心技術產(chǎn)品，上海新陽的光刻膠取得重大突破，自主研發(fā)的KrF光刻膠產(chǎn)品通過認證，客戶不斷增加，已在國內(nèi)主流晶圓制造廠商處實現(xiàn)供貨。公司在1月曾對外表示，公司KrF光刻膠已批量化生產(chǎn)銷售，ArF類光刻膠樣品目前在國內(nèi)晶圓制造企業(yè)驗證中，EUV光刻膠尚在開發(fā)階段。

總體而言，上海新陽目前形成了擁有完整自主可控知識產(chǎn)權(quán)的電子電鍍和電子清洗兩大核心技術, 第三大核心技術電子光刻技術及第四大核心技術電子研磨技術都已基本形成。

隨著產(chǎn)業(yè)工藝升級和下游廠商的積極擴產(chǎn)，半導體材料市場正快速增長。國際半導體產(chǎn)業(yè)協(xié)會（SEMI）數(shù)據(jù)顯示，2021年全球半導體材料市場收入達到643億美元，超過了此前2020年555億美元的市場規(guī)模，同比增長15.9%。與此同時，受益于產(chǎn)業(yè)鏈轉(zhuǎn)移趨勢，2021年國內(nèi)半導體材料銷售額高達119.3億美元，同比增長22%，增速遠高于其他國家和地區(qū)。

實際上，半導體材料種類繁多，包括硅片、電子特氣、光刻膠、工藝化學品、研磨液、靶材等。據(jù)SEMI數(shù)據(jù)顯示，硅片為半導體材料領域規(guī)模最大的品類之一，市場份額占比達31.2%，其次為氣體，占比約14.1%，第三為光刻膠配套試劑、光刻膠、工藝化學品、拋光液和拋光墊類化學材料，占比分別為7.3%、5.0%、6.5%和8.4%。

而上海新陽目前產(chǎn)品主要涉及半導體芯片制程工藝所需的電鍍液及添加劑、清洗液、光刻膠及研磨液等關鍵工藝化學材料。

公司在2022年半年報中曾披露，在集成電路制造用關鍵工藝材料產(chǎn)品市場需求旺盛情況下，于2019年啟動集成電路關鍵工藝材料擴產(chǎn)項目，布局規(guī)劃了清洗液、刻蝕液、電鍍液及添加劑、光刻膠、研磨液等化學品材料產(chǎn)能，歷經(jīng)2年多的建設、調(diào)試、試生產(chǎn)等環(huán)節(jié)，公司上海廠區(qū)年產(chǎn)能1.9萬噸擴充目標已建設完成，并根據(jù)客戶需求情況投入生產(chǎn)。上海新陽稱，此擴產(chǎn)解決了公司迫切的產(chǎn)能瓶頸問題，為公司2022年上半年產(chǎn)品放量增長提供支撐。

上海新陽在2022年12月回復投資者時提到，上海本部1.9萬噸產(chǎn)能未完全投產(chǎn)。

此外，上海新陽于2019年10月21日與合肥新站高新技術產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)管委會簽訂《上海新陽半導體材料股份有限公司第二生產(chǎn)基地項目投資合作協(xié)議》，啟動了公司位于合肥新站高新技術產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)的第二生產(chǎn)基地項目建設，項目計 劃分二期建設，一期投資約3億元人民幣。二期項目則于2022年2月達成協(xié)議，總投資約3.2億元人民幣。

在今年1月底，上海新陽稱，合肥新陽項目兩期并行，目前尚未投產(chǎn)。

2022年前三季度，上海新陽營業(yè)收入為8.77億元，和上年同期相比（同比）增加23.22%；歸屬于上市公司股東的凈利潤為1394.76萬元，同比減少81.20%；歸屬于上市公司股東的扣除非經(jīng)常性損益的凈利潤為9363.82萬元，同比增加38.52%。