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柔性單通道多功能熱電半導(dǎo)體傳感器件研究取得重要新進(jìn)展
近年來,微型化、柔性化、智能化等多功能集成電子器件在人工智能、生物醫(yī)療、集成電路等領(lǐng)域取得了顯著的發(fā)展。其中,能夠同時感知觸覺和溫度的柔性應(yīng)力/應(yīng)變-溫度傳感器,因其在電子皮膚、柔性傳感器等發(fā)展中的關(guān)鍵作用而受到廣泛關(guān)注。傳統(tǒng)的應(yīng)力/應(yīng)變-溫度傳感器的設(shè)計策略主要是將兩種具有應(yīng)力/應(yīng)變和溫度傳感功能(熱電/熱釋電和壓電/壓阻效應(yīng)等)的材料集成構(gòu)建成疊層結(jié)構(gòu)的傳感器件。然而,此類器件通常以“一對一”模式運行,結(jié)構(gòu)設(shè)計和數(shù)據(jù)采集復(fù)雜,且需要外部電源驅(qū)動,其長期穩(wěn)定監(jiān)測的可靠性不佳。此外,大多數(shù)關(guān)于應(yīng)變傳感的研究往往忽視了應(yīng)變率傳感(施加應(yīng)變的速率)的重要作用,這是動態(tài)場景中的關(guān)鍵因素。即使在相同的應(yīng)變大小下,由于應(yīng)變和應(yīng)變率相互耦合,應(yīng)變率的變化也會顯著影響材料的應(yīng)變響應(yīng)特性。傳統(tǒng)傳感器無法通過單一材料和簡單結(jié)構(gòu)來實現(xiàn)對多參數(shù)變量的實時監(jiān)測,既實現(xiàn)材料的多功能化傳感具有很大挑戰(zhàn)。
近期,中國科學(xué)院金屬研究所沈陽材料科學(xué)國家研究中心邰凱平研究員帶領(lǐng)團(tuán)隊研制出一種基于碲納米線(Te-NWs)熱電-壓電耦合效應(yīng)的柔性、單通道、應(yīng)變/應(yīng)變率-溫度多模態(tài)傳感器。研究人員通過材料調(diào)控和結(jié)構(gòu)設(shè)計克服了以往傳統(tǒng)熱電材料中熱電和壓電信號無法在同一方向獲得的難題,在傾斜生長的特殊網(wǎng)狀Te-NWs結(jié)構(gòu)中,實現(xiàn)了壓電信號和熱電信號在面外方向的同時感知和輸出。傳感器具有優(yōu)異的性能,應(yīng)變傳感靈敏度為0.454 V、應(yīng)變率傳感靈敏度為0.0154 V s、溫度傳感靈敏度達(dá) 225.1 μV K-1,優(yōu)于已報道的同類多模態(tài)傳感器。同時,結(jié)合第一性原理計算,證明了Te原子電荷的變化引起的壓電效應(yīng),以及外部電場(如熱電勢等)對于壓電信號的調(diào)制作用機制。該工作為基于多物理場耦合效應(yīng)構(gòu)建柔性、單通道、多模態(tài)傳感器提供了新思路,也為耦合“納米發(fā)電機”開辟了新的應(yīng)用方向。
相關(guān)研究結(jié)果以“Simultaneous strain, strain rate and temperature sensing based on a single active layer of Te nanowires”為題,于2025年11月28日發(fā)表在《Nature Communications》期刊上。金屬所博士研究生曾豪為論文第一作者,邰凱平研究員、于治副研究員為論文共同通訊作者,該工作也獲得了山東大學(xué)和季華實驗室合作團(tuán)隊的大力支持。該研究成果得到了國家重點研發(fā)計劃、國家自然科學(xué)基金、遼寧省重點研發(fā)計劃和沈陽材料科學(xué)國家研究中心專項基金的資助。
原文鏈接
圖1.柔性單通道應(yīng)變/應(yīng)變率-溫度多模態(tài)傳感器件設(shè)計和顯微結(jié)構(gòu)特征
圖2.柔性單通道應(yīng)變/應(yīng)變率-溫度多模態(tài)傳感機制
圖3.應(yīng)變/應(yīng)變率-溫度多模態(tài)傳感器件性能測試曲線
圖4. 柔性單通道應(yīng)變/應(yīng)變率-溫度多模態(tài)傳感器件應(yīng)用演示驗證
AI讀進(jìn)展:一張“電子皮膚”的奇妙進(jìn)化
想象一下,你希望給機器人或假肢造一層像人類皮膚一樣靈敏的“電子皮膚”。這層皮膚需要能同時感知三種東西:
壓力/形變(觸覺):比如被捏了多用力。
形變速度(動態(tài)觸覺):比如是被快速拍打還是緩慢按壓。
溫度(溫覺):比如接觸的是冰塊還是溫水。
過去的“笨辦法”
以前的科學(xué)家是怎么做的呢?他們有點像做“三明治”。他們把一種能感知壓力的材料、另一種能感知溫度的材料,一層一層地疊在一起。這樣做出來的“皮膚”有幾個大問題:
結(jié)構(gòu)復(fù)雜:層數(shù)多,又厚又硬,不靈活。
信號打架:不同層的信號可能會互相干擾,需要復(fù)雜的電路來分辨。
需要外接電源:像手機需要充電一樣,不夠方便。
不夠智能:很難分辨出按壓的速度,而這在抓取雞蛋這類精細(xì)動作中至關(guān)重要。
中國科學(xué)家的“聰明解法”
最近,中國科學(xué)院金屬研究所科研團(tuán)隊取得了一項突破。他們不再做“三明治”,而是像用“一團(tuán)神奇的毛線”織出了一張超靈敏的“電子皮膚”。
核心創(chuàng)新點:
一種材料,三種本領(lǐng)
他們使用的“神奇毛線”是碲納米線。這種材料本身同時具備兩種超能力:
熱電效應(yīng):當(dāng)材料兩端有溫差時,會產(chǎn)生電壓。這用來感知溫度。
壓電效應(yīng):當(dāng)材料被擠壓或彎曲時,也會產(chǎn)生電壓。這用來感知壓力和形變速度。
以前,這兩種效應(yīng)產(chǎn)生的信號方向是沖突的,無法同時利用。但研究人員通過巧妙的“傾斜網(wǎng)狀”結(jié)構(gòu)設(shè)計,成功讓這兩種信號在同一個方向上“和諧共處”,都能被測量到。
單通道,多任務(wù)
你可以把這個傳感器想象成一個只有一個出口的水龍頭,但流出的水有三種不同的顏色。
研究人員們通過一套聰明的算法,可以實時分析這個“出口”的總信號,并瞬間分離出哪部分代表“壓力”,哪部分代表“速度”,哪部分代表“溫度”。這就大大簡化了結(jié)構(gòu)和數(shù)據(jù)處理。
自供能
這個傳感器在工作時不需要外接電池。它感知外界刺激(壓力、溫度)時自身產(chǎn)生的微弱電壓,就是它的信號來源。這使其非常適合長期、穩(wěn)定的監(jiān)測。
這項技術(shù)有什么用?
這項研究有可能為未來科技打開了許多激動人心的大門:
更智能的機器人:讓機器人能像人一樣,在抓取雞蛋時不僅能感知力度,還能感知滑動速度,從而及時調(diào)整,避免捏碎或滑落。
更逼真的假肢:讓截肢者通過假肢同時感受到物體的軟硬、紋理和溫度,獲得更真實的觸覺體驗。
先進(jìn)的健康監(jiān)測:可以做成貼附在皮膚上的柔性貼片,長期、實時地監(jiān)測關(guān)節(jié)活動(應(yīng)變)、肌肉震顫(應(yīng)變率)和體溫變化,用于疾病診斷和康復(fù)訓(xùn)練。
下一代人機交互:使手機、VR手套等設(shè)備的觸控體驗更加豐富和立體。
總結(jié)一下:
簡單來說,中國科學(xué)家就像一位高明的“材料魔術(shù)師”,他們用一種特殊的“碲納米線”,通過巧妙的結(jié)構(gòu)設(shè)計,造出了一種簡單、柔軟、能干多重活兒還不用充電的超級傳感器。這不僅是傳感器領(lǐng)域的一大步,也為我們未來邁向更智能、更人性化的科技世界鋪平了道路。
希望這個解釋能幫助您理解這項有趣的研究!
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